SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置
SICA108
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SiC特有の欠陥に特化した表面検査およびフォトルミネッセンス（PL）同時検査の高速化を実現
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特長
- 表面欠陥と同時にウェハ内部の基底面内転位（BPD）、積層欠陥(SF)など結晶欠陥を高速・高感度に検出
- 欠陥の高解像度レビュー画像の取得と同時に高精度自動欠陥分類（ADC）によって、各種欠陥を詳細分類
- 無人搬送車（AGV）や天井走行式無人搬送車（OHT）といった各種自動化にも対応
用途
- SiCウェハ、エピウェハの出荷・受入検査
- SiCエピタキシャル成長プロセスの管理
- SiC研磨プロセスの管理
- SiCデバイス製造プロセスの管理
