HYBRID^＋は白色コンフォーカル顕微鏡の機能を備え、高精細フルカラー観察および高精度3次元形状測定が可能です。

HYBRID^＋は白色コンフォーカル顕微鏡と同一の光学系にレーザーコンフォーカル顕微鏡を搭載しています。光源にレーザー光を採用。電子顕微鏡に匹敵する高倍率、高解像度の観察・測定が可能です。

コンフォーカル光学系と微分干渉機能との組み合わせで、微小な凹凸形状をリアルタイムに高いコントラストで可視化します。

二光束対物レンズを用いてミリレベルの広範囲をナノレベルの精度で形状測定を行います。

光干渉を用いてオングストロームレベルの形状測定を行います。

膜干渉を用いて1ミクロン以下の透明薄膜の膜厚測定を行います。