垂直式白色干渉測定は、サンプルを光軸方向に走査しながら、白色光と二光束干渉レンズにより生じる干渉縞強度が最大になるZスケール値を取得し、高さ分布を求めます。原理上、高さ測定精度が対物レンズのNAに依存しないため、どの倍率でも高さ分解能が変わらず、低倍で広視野の形状測定に適しています。操作に関しては、コンフォーカル測定と同様です。

下に実際の測定事例を示します。
左の画像は40nmの高さ標準片を1500μmの広い視野で測定したものです。
右の画像はカルサイトのへき開面を測定したものですが、数μmの測定レンジの中に存在する数10ナノレベルの微小段差を測定した事例です。