1960

有限会社東京ITV研究所を設立

医療用X線テレビカメラ装置の設計・開発を担う松下通信工業（株）の協力会社として有限会社東京ITV研究所を創業

※ITVは工業用テレビジョンの略

1962

日本自動制御株式会社を設立

X線テレビのみでなく、最先端の分野での技術開発に注力

1971

• 自社ブランド製品第一号となるテンションアナライザー発売

1975

• 半導体業界に参入し、LSIフォトマスク・ピンホール検査装置を開発・発売世界初

1976

• LSIフォトマスク欠陥検査装置「1MD1」を開発・発売世界初

1977

• LSIフォトマスク欠陥検査装置が日刊工業新聞社「1977年十大新製品賞」を受賞

1979

• 米国サンマテオに初めての駐在員オフィス設立

• フォトマスク欠陥検査装置が「科学技術庁長官賞」を受賞
• SEMICON Westに初めて出展

1980

• 「中小企業庁長官賞」を受賞
• 「大河内記念技術賞」受賞
• 神奈川県横浜市綱島東に移転
• ドイツ・デュッセルドルフに駐在員事務所を開設
• 下請け業務がなくなり自社製品100％に

1981

• LSIレチクル欠陥検査装置「2RD1」発売

1982

• レチクル欠陥検査装置が日刊工業新聞社「1982年十大新製品賞」を受賞

1985

• ロンドンにヨーロッパ支店を設立

• 走査型カラーレーザー顕微鏡「2LM11」を開発・発売世界初
• LSIレチクル欠陥検査装置が「科学技術庁長官賞」を受賞

2LM11

1986

日本自動制御株式会社からレーザーテック株式会社に社名変更

• カリフォルニア州サンノゼにLasertec U.S.A., Inc.を設立

1987

• FPD用大型フォトマスク欠陥検査装置「20MD」を開発・発売

1988

• 走査型レーザー顕微鏡が「第5回神奈川工業技術開発大賞」を受賞

1990

• 日本証券業協会に株式を登録し、店頭公開（銘柄コード6920）

1992

• 粟村大吉社長就任

1993

• 液晶用カラーフィルタ自動欠陥検査装置「1CF20」および突起修正装置「1RL20」を開発・発売
• 位相シフト量測定装置「1PM11」を開発・発売

1CF20

1RL20

1PM11

1994

• 韓国支店設立

• 位相シフト量測定装置「MPM100」発売世界初

1997

• 小杉健一社長就任

• コンフォーカル（共焦点）顕微鏡「1HD200」を発売

1998

• コンフォーカル（共焦点）顕微鏡が「第15回神奈川工業技術開発大賞」を受賞

2000

• マスクブランクス欠陥検査装置MAGICSシリーズ初代機「M1320」を開発・発売

2001

• 韓国ソウル市にLasertec Korea Corporationを設立

2002

• ISO9001:2000を本社にて取得

2003

• 渡壁弥一郎社長就任

2004

• ジャスダック証券取引所に上場

2005

• 台湾支店設立

2006

• 2006年6月期　連結売上100億円を達成

• フォトマスク欠陥検査装置MATRICSシリーズ「MATRICS X653」を開発・発売

2007

• Forbes Asia誌の「Best Under A Billion賞」を受賞

2008

• 新横浜に研究開発センター兼本社社屋を建設、移転
• 新横浜本社ビル完成に伴い西日本営業所の機能を本社に統合
• ヨーロッパ支店を解消しUSA支店に変更

2009

• 岡林理社長就任

• 太陽電池変換効率分布測定機MAPシリーズを開発・発売
• SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置「SICA61」を開発・発売

MAPシリーズ MP50

SICA61

2010

• 台湾新竹県にLasertec Taiwan, Inc.を設立

• 透明ウェハ欠陥検査/レビュー装置WASAVIシリーズ「TROIS32」を開発・発売

2011

• 横浜市の知財経営評価で「横浜価値組企業」に認定（最上位AAA評価）

2012

• 東京証券取引市場第二部に上場

• 電気化学反応可視化コンフォーカルシステム「ECCS B310」等リチウムイオン電池関連装置を開発・発売世界初
• リソグラフィプロセス検査装置「LX330」を開発・発売

ECCS B310

LX330

2013

• 東京証券取引所市場第一部に上場
• 特許活用優良企業として「特許庁長官賞」を受賞

2014

• 電気化学反応可視化コンフォーカルシステム「ECCS B310」が日刊工業新聞社「十大新製品賞」を受賞

2017

• 中国上海市にLasertec China Co., Ltd.を設立

• EUV光（波長13.5nm）を用いたEUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 「ABICS E120」を開発・発売世界初

2018

• ISO14001:2015およびOHSAS18001:2007を本社にて取得

• EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置「ABICS E120」が日刊工業新聞社「十大新製品賞『日本力賞』」を受賞

2019

• シンガポールにLasertec Singapore Service Pte. Ltd.を設立（2023年Lasertec Singapore Pte. Ltd. に社名変更）

• アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A150」を開発・発売世界初

2020

• 「2020年版　経済産業省認定グローバルニッチトップ企業100選」に選定

• アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A150」が日刊工業新聞社「十大新製品賞『日本力賞』」を受賞

2022

• 新横浜で新研究開発拠点Lasertec Innovation Parkの物件取得

2024

• 仙洞田哲也社長就任