製品一覧

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A

ACTIS A300シリーズ

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

ACTIS A300シリーズ

ACTIS A150

アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置

ABICS E120

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

B

BASICシリーズ

EUVマスク裏面検査/クリーニング装置

BASICシリーズ

BGM300

TSV裏面研磨プロセス測定装置

BIM300

ウェハバンプ検査測定装置

C

CIRIUSシリーズ

高感度内部欠陥検査/レビュー装置

CIRIUSシリーズ

CIELシリーズ

高感度ウェハエッジ検査装置

CIELシリーズ

CLIOS G10シリーズ

FPDフォトマスク欠陥検査装置

CLIOS G10シリーズ

CLIOS G834Advance

FPDフォトマスク欠陥検査装置

CLIOS G834Advance

CLIOS G800LITE

FPDフォトマスク欠陥検査装置

E

ECCS B320

電気化学反応可視化コンフォーカルシステム

EZ300

ウェハエッジ検査装置

G

GALOIS211

GaNウェハ欠陥検査/レビュー装置

L

LXシリーズ

多波長ウェハ検査装置

LBISシリーズ L852/L1052

FPDマスクブランクス欠陥検査装置

LBISシリーズ L852/L1052

M

MATRICS X9ULTRAシリーズ

マスク検査装置

MATRICS X9ULTRAシリーズ

MATRICS X8ULTRAシリーズ

マスク検査装置

MATRICS X8ULTRAシリーズ

MAGICSシリーズM9650/M9651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

MAGICSシリーズM9650/M9651

MZ100

マスクエッジ検査装置

MATRICS X810EXシリーズ

マスク欠陥検査装置

MATRICS X810EXシリーズ

MATRICS X800LITEシリーズ

マスク欠陥検査装置

MATRICS X800LITEシリーズ

MAGICSシリーズ M6750/M6751

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

MAGICSシリーズ M6750/M6751

MAGICSシリーズ M6640S/M6641S

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置

MAGICSシリーズ M6640S/M6641S

MPM193EX

位相差/透過率測定装置

MPM248

位相シフト量測定装置

MAGICSシリーズ M5640

ウェハ欠陥検査/レビュー装置

MAGICSシリーズ M5640

O

OPTELICS® HYBRID+

レーザーマイクロスコープ

OPTELICS® HYBRID+

OPTELICS AI²

コンフォーカル顕微鏡自動検査/レビュー装置

P

71PA CM

CLIOS用ペリクル検査/貼り付けシステム

51PA CM

CLIOS用ペリクル検査/貼り付けシステム

S

SICA108

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置

SICA88

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置

V

VIANCAシリーズ

ビア深さ測定装置

VIANCAシリーズ

VL3000DX-SVF18SP

超高温観察レーザー顕微鏡システム

VL3000DX-SVF18SP

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