FPDフォトマスク欠陥検査装置
CLIOS G834Advance
FPD用ハイエンドマスクの運用検査感度を大幅に向上
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特長
- 光学系およびAF機構を刷新し、最高検出感度0.3µmと従来比最大90%以上の疑似欠陥削減を実現
- 微小なコンタクトホール内の欠陥やローカルCDエラーを新開発アルゴリズムによって検出可能
- CDU（マスク全体の CD の均一性）のモニタ機能を搭載（Option機能）
- 欠陥画像の自動保存機能を搭載し、オフラインでのレビューを実現
- Die to Die とDie to Database の同時検査（コンボモード）が可能
用途
- FPD用ハイエンドマスクの製造工程での欠陥検査および出荷前の品質検査
仕様
| 対応可能マスクサイズ | 800mm（W）×520mm（H）～1,550mm（W）×1,300mm（H） |
|---|---|
| 最高検出感度 | 0.3µm ※弊社基準マスクで保証 |
| スキャン速度 | 78mm/秒（Normal）、156mm/秒（Fast） |
| 本体外形寸法 | 5,000mm（W）×1,815mm（D）×3,000mm（H） |
| 重量 | 約8,500kg（本体部分のみ、ラック含まず） |
