近年フラットパネルディスプレー業界では、5G通信対応などのスマートフォン、タブレット端末や大型テレビ向けでさらなる高精細化に向けた開発が活発となり、有機EL用のフォトマスク需要は拡大しています。特にモバイル用パネルでは、省電力化や画質（コントラスト比）の向上を実現するためには画素内のTFT素子数を増加する等の工夫が必要であり、コンタクトホールやパターン線幅の微細化が進んでいます。またフォトマスクからパネルへのパターン転写時の露光波長も短波長化されたため、最先端有機EL用フォトマスクには、解像不良や画質不良の要因となる微小な欠陥と微細線幅のより厳密な管理が要求されております。

レーザーテックは35年以上にわたり、時代と共に進化するTV用基板のサイズ対応や、進化を続けるモバイルデバイスの高精細化に対応すべく、市場要求に合致したFPDフォトマスク欠陥検査装置をタイムリーに投入し、たいへんご好評を得ています。この度、新たな市場要望に応えるべく、以下の新製品2機種を開発致しました。

ハイエンド向けのマスク検査機として開発したCLIOS G834Advanceは、光学系の刷新と新開発の画像処理で、従来装置の検査処理速度を維持しつつ、FPDフォトマスク基板の振動等による疑似欠陥の大幅な低減に成功しました。さらに新型TDIカメラの搭載で撮像画像が鮮明化され、最高検出感度を従来装置の0.35µmから0.3µmへ向上する事に成功し、高精細で高品質な最先端マスクの品質保証が可能になります。
また、生産数量が多いミドルエンドマスク用として新たにCLIOS G800LITEを開発しました。従来のデュアルヘッドから、シングルヘッドにすることでコストダウンし、新規光学系による視野拡大と光源の短波長化により、必要とされる欠陥検出感度を維持した上で検査速度を約3倍に向上する事に成功し、コストパフォーマンスに大変優れた装置となっております。

当社ではフラットパネルディスプレー業界の市場ニーズに対応し、ハイエンドからミドルエンドまで最適なFPDフォトマスク欠陥検査装置を提供する事で、高品質フォトマスクの開発と生産に貢献してまいります。