マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6750/M6751
レジスト上の欠陥検出感度を向上させたマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
特長
- 高品質マスクブランクス検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立した最新鋭欠陥検査装置
- 既にマスクブランクス検査の業界標準機となっているMAGICSの基幹技術であるコンフォーカル光学系を採用した63本のマルチビームスキャン方式をベースに、レジスト上欠陥に最適化した高S/N欠陥検出回路を搭載
- レジスト上の欠陥検出感度が向上することにより、ハイレベルかつスピーディなプロセス改善が可能
- M6751は、Line & Spaceのパターン検査の他、描画＆ベイク後の潜像パターン上の異物検査に対応した製品で、マスクショップでのプロセス管理に有効
- カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向けRSP、MRPなどに対応が可能
用途
- レジスト塗布済みマスクブランクス、サブストレート、Cr膜、MoSi膜、ハーフトーン膜、描画＆ベイク後の潜像パターン付きマスクの検査
- 欠陥のレビュー
