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MATRICS X9ULTRAシリーズ

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MATRICS X9ULTRAシリーズ

テクノロジーノード3nm以降のペリクル非装着EUVマスクに特化したマスク検査システム

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2022年04月26日

新製品マスク検査装置MATRICS X9ULTRAシリーズを発表

特長

テクノロジーノード3nm以降のペリクル非装着EUVマスクに特化したマスク検査システム
ハイパワー193nmレーザーおよび高NA対物レンズの搭載により、微小異物検出性能を向上

用途

ウェハファブにおけるペリクル非装着EUVマスクの品質確認検査
EUVマスクの製造工程における、微小異物検査

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