FPDマスクブランクス欠陥検査装置
LBISシリーズ L852/L1052
従来機から検査性能を一新 高精細FPDフォトマスク製造の歩留り改善に貢献
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特長
- ハイパワーレーザー散乱光学系の採用により、高感度化・高スループット化を実現
- 反射微分干渉/透過光学系による高倍率欠陥レビューが可能
- 新開発のソフトウェアにより自動欠陥レビューを行い、欠陥種・サイズの同時分類処理が可能
- G8/G10サイズまで対応可能
- 各種アシストアームへの対応が可能
用途
- Qzサブストレートの出荷・受入検査・レビュー（洗浄後・研磨後）
- クロムまたは酸化クロム成膜後の欠陥検査・レビュー
- レジストコート後の欠陥検査・レビュー
仕様
| 検出感度 | 0.3μm（Qz上PSL） |
|---|---|
| 検査時間 | 20分（G8サイズ） |
| レビュー方式 | 反射微分干渉/透過（同時レビュー） |
