EUVペリクル異物検査装置
PELMISシリーズ
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EUVペリクルの欠陥を高性能に分類
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特長
- ペリクル付きEUVマスクのペリクル面に付着する異物の検査および表裏自動判別機能
- ペリクル面に加え、マスクパターン面およびパターン外周部の異物検査にも対応
- ダイ比較検査、マスクtoマスク比較検査も可能
用途
- ウェハファブにおけるEUVペリクルおよびマスクパターン面の異物検査および定期的な品質管理検査
- マスクショップにおけるEUVマスク製造工程での異物検査