当社はEUVマスク検査に関するさまざまなご要望に対応するソリューションをタイムリーに提供し、全世界のウェハファブやマスクショップから高い評価をいただいております。近年ではEUV市場の拡大に伴い、EUVペリクルの検査需要が高まっております。このたび製品化いたしました、PELMISシリーズはペリクル付きEUVマスクのペリクル面の異物検査と付着異物の表裏自動分類を実現いたしました。パターン面およびパターン外周部の異物検査にも対応しており、幅広い用途でご使用いただける装置です。

ペリクル装着後のEUVペリクル付きマスク検査工程において、アクティニック^※2EUVパターンマスク欠陥検査装置ACTISシリーズやEUVマスク裏面検査/クリーニング装置BASICシリーズ、マスクエッジ検査装置MZシリーズと併用することでEUVマスクの全面検査が実現し、生産性のさらなる最適化が期待されます。

レーザーテックは、今後もEUVリソグラフィを用いて量産を行う最先端半導体メーカーのニーズに応える検査装置ラインナップを充実させ、業界の発展に貢献してまいります。