コンフォーカル顕微鏡は以下の3つの特長を持った形状測定装置です。

コンフォーカル顕微鏡は試料からの反射光を検出器で受光する光計測方式であるため非接触・非破壊の測定が可能です。反射光が受光できるのであれば試料構造に制約はありません。接触式形状測定機の針先が入らないような深く狭い溝・穴の測定も可能です。また、非接触であるため柔らかいサンプルにダメージを与えず測定でき、電子顕微鏡のようなサンプルの蒸着や真空引きといった前処理の必要もなく、大気中で使用できます。

コンフォーカル光学系を採用し、周辺からの不要な散乱光を除外する事で、解像度が高く、高コントラストの観察が可能です。視野内すべてに焦点のあった画像を作成できるため、凹凸のあるサンプルも鮮明に観察できます。

コンフォーカル顕微鏡は視野内の全画素（ピクセル）の高さ情報を取得できます。そのため、段差、幅、表面粗さ、膜厚といった3次元形状の測定が可能になります。