単色光と二光束干渉レンズにより生じる干渉縞は、試料からの反射光の光路差分布に対応しており、光軸方向に精密にステップ移動した4つの干渉画像を位相解析することで、高さ分布を高分解能で求めます（高さ測定範囲は測定波長の半波長以内）。垂直式白色干渉機能と違い光軸方向の移動は、ステップ移動になるため測定時間が短く、数秒で測定が可能です。

下の画像のように8nm段差の標準片を測定することができ、また1nm～数nmの結晶成長の表面段差も測定が可能です。