微分干渉（DIC：Differential Interference Contrast）観察は、光干渉によってリアルタイムに微小な表面形状にコントラストを付けるため、Zスキャンや画像演算を必要とせずに、低倍率でも検出能力が高くサンプルの欠陥や傷をストレスなく探すことができます。コンフォーカル観察で微小な凹凸にコントラストをつけるためには、高倍率観察が必要ですが、視野が限定されます。

DIC観察はコンフォーカル観察とは互いに独立した原理のため、コンフォーカル＋DIC観察として使用できます。コンフォーカルとの組み合わせにより焦点深度が極めて浅くなることで、透明体のサンプルに対しても裏面の影響を受けることなく、サンプル表面の微細な凹凸形状を鮮明に可視化します。

観察事例を下の図に示します。コンフォーカル観察では表面の微小な凹凸が確認できませんが、これにDIC観察を加えると微細な凹凸が鮮明に可視化できています。コンフォーカルではない顕微鏡の通常のDIC観察ではSiCウェハのような薄い透明体の観察において表裏を区別することができません。コンフォーカル＋DIC観察は焦点深度が浅いため、表面だけの凹凸を確実に鮮明に捉えることが可能です。これがコンフォーカル＋DIC観察の大きな利点になります。DIC観察は共通行路の干渉なのでDIレンズとは異なり振動の影響を受けにくく、また、広視野での観察が可能であるため、リアルタイム観察像を用いる検査用途に向いています。