JISに準拠した線粗さ、およびISOに準拠した面粗さ測定が可能です。コンフォーカル顕微鏡は、非接触のため触針式では測定できない柔らかいサンプルや、針先で検出できない微細な凹凸形状を解像できるため、より高精度な測定が可能です。また、触針式はプローブの走査ラインの方向によって取得データが変化しますが、コンフォーカル顕微鏡は2次元の高さデータをもとに粗さを算出するため、走査方向による測定誤差を生じません。

下の画像ではダイヤモンド砥石の表面形状を測定し、実断面曲線を取得しています。
（左図：カラー全焦点画像、右図：3次元表示、下図：実断面曲線）

画像を取得したのち、画面で確認しながら測定ラインを設定できるので、狙った場所を正確に測定できます。

測定ラインの方向によるバラツキがなく正確な測定が可能です。面粗さ測定は、測定面の三次元データを持つコンフォーカル顕微鏡に適した、粗さ評価方法といえます。また、触針式だけでなく、非接触（光プローブ）方式にも対応した国際規格にもなっています。

2つのグループの複数のサンプルを自動比較し、違いの出るパラメータを上位順に表示します。良否判定の際、どのパラメータが最適かの判断が容易になります。

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