History

製品開発の歴史
世界初が拓いた開発35年の歴史
1985年、世界初の工業用カラーレーザー顕微鏡をリリース。
以来、常に最先端の顕微鏡の開発に取り組んできました。
1985年
世界初

工業用カラーレーザー顕微鏡
2LM11

製品概要

照明光源にHe-Neレーザー（633nmの赤）とArレーザー（533nmの緑、488nmの青に分波）の3色のレーザー光を採用し、RGB各波長用の受光素子を搭載することで、高精細なカラー映像をリアルタイムに映し出す世界初の工業用カラー走査型レーザー顕微鏡。
1985年5月に米国開催のSEMICON WESTへ出展し、その後に国内で発表しました。

主な特長

  1. 1フルカラーのレーザー顕微鏡画像の取得
  2. 2高速走査によるリアルタイム観察
  3. 3共焦点光学系による高解像度・高コントラスト画像の取得
1987年

赤色レーザー顕微鏡
1LM21

製品概要

価格を抑えた装置への市場ニーズに対応するため、光源にHe-Neレーザー（波長633nm）のみを搭載したレーザー顕微鏡。光学顕微鏡の写真撮影用アタッチメントに取り付けることで、通常の光学顕微鏡の限界を超えた解像度と高倍率観察を可能にしたコンパクトで低価格を実現したモノクロームレーザー顕微鏡です。観察機能だけでなく、幅、高さの測定機能が追加され、用途が大きく拡大しました。

主な特長

  1. 1高速走査によるリアルタイムモノクロ観察
  2. 2共焦点光学系の採用による高コントラストの高解像度画像
  3. 3非接触での表面形状測定
1999年

ブルーレーザー顕微鏡
VL2000D

製品概要

半導体分野をはじめ、各産業分野で微細化が加速。解像度の高い顕微鏡へのニーズが高まり、当時開発されたばかりのブルーレーザーダイオードを光源に採用したモノクロレーザー顕微鏡です。新規に専用設計した光学系とブルーレーザーダイオードの組み合わせで、従来のレーザー顕微鏡に比べ、解像度が大幅に向上。分解能は0.14µm、倍率はモニター上で7,200倍（対物レンズ200倍）の拡大観察を実現しました。

主な特長

  1. 1高速走査によるリアルタイム観察
  2. 2低反射率のサンプルや傾斜面の観察性能が向上
  3. 3高精度の線幅・高さ測定機能
  4. 4レーザースケールの搭載により、高さ測定においても分解能が高く、繰り返し性の高い測定を実現
2001年

白色広視野コンフォーカル顕微鏡
HD100D

製品概要

さまざまな産業分野にレーザー顕微鏡が普及したことで、測定ニーズが多様化。
従来からの高倍率観察、微細パターンの測定に加え、機械部品などの広範囲の観察および凹凸の激しいサンプルの形状測定ニーズが拡大しました。これらのニーズに対応すべく、従来のレーザー顕微鏡とは異なるコンセプトの顕微鏡として光源に白色光を採用した広視野に対応するモノクロコンフォーカル顕微鏡HD100Dを開発。HD100Dは新規光学系を搭載し、新方式の白色コンフォーカル光学系では、低倍率の対物レンズを使用した場合でも大きな照明角で試料を照射することが可能になり、急斜面を含むサンプルや表面の凹凸の大きなサンプルに対しても、ノイズの少ない正確な3次元測定が可能になりました。

主な特長

  1. 1広視野（低倍率）での高い測定精度を実現
  2. 2新開発の低倍・高NA対物レンズとの組み合わせで高い傾斜描写能力を実現
  3. 3白色干渉測定が可能
2003年

リアルカラーコンフォーカル顕微鏡
OPTELICS C130

製品概要

カラーフィルターなど、色情報を持つサンプルを観察・測定するニーズの高まりに応えるために開発されたカラーコンフォーカル顕微鏡シリーズ。白色光を光源とした、コンパクト設計のリアルカラーコンフォーカル顕微鏡です。太陽光のスペクトル分布に最も近いキセノンランプを光源としています。

C130の主な特長

  1. 1高精細フルカラー画像を取得
  2. 2R/G/B画像データを同時・独立に取得
  3. 3簡単操作を実現したボディ設計・人間工学に基づいたコンソールの採用で操作性が向上・高剛性、低重心、コンパクトボディ、耐震構造設計
2005年

リアルカラーコンフォーカル顕微鏡
OPTELICS S130

S130の主な特長

  1. 1405nm、436nm、546nm、577nm、630nmの5波長からサンプルに最適な波長を選択
  2. 2コンフォーカルに加え、微小な表面形状測定が可能な位相シフト干渉測定機能が追加。ナノレベルの計測が可能
2007年

3CCDリアルカラーコンフォーカル
顕微鏡
H1200 WIDE

製品概要

1台の装置でさまざまな測定をスピーディに対応したいとの市場ニーズに応えるために開発された多機能コンフォーカル顕微鏡。カラー観察と多機能性を追求し、光源にキセノン光を採用し受光部にR/G/Bに対応する3つの受光素子を搭載しました。波長選択（W）、白色干渉測定（I）、微分干渉観察（D）、AFM（E）の4つのオプション機能を準備しており1台でナノメートルからミリメートルの幅広い測定エリアでさまざまなニーズに対応しています。

主な特長

  1. 1リアルカラーコンフォーカル画像を取得
  2. 2高速処理
    7.5～120Hzの可変フレームレートによる高速測定を実現
  3. 3WIDEオプションにより、多様な測定ニーズに対応可能
    • Wave （波長選択機能）
      405nm,436nm,488nm,546nm,577nm,630nmの6波長からサンプルに最適な波長を選択して観察・測定が可能
    • Interferometer （白色干渉測定）
      コンフォーカル光学系と干渉機能の融合でナノレベルからミリメートルレベルの広い垂直方向の測定が可能
    • DIC （微分干渉観察）
      コンフォーカルと微分干渉との組み合わせで、サンプル表面の微細な凹凸情報を鮮明に可視化。焦点深度が極めて浅いため、透明体のサンプルに対しても、裏面の影響を受けずに表面観察が可能
    • Exceed （原子間力顕微鏡機能）
      AFMとの一体化でナノメートルからミリメートルの形状をシームレスに測定が可能
2013年

多機能白色レーザーコンフォーカル
顕微鏡
OPTELICS HYBRID

製品概要

広視野観察から高倍率観察に至る幅広い測定エリアを高精度に測定したいという市場ニーズに応えるため、光源に白色光とレーザー光を搭載した業界初のハイブリッドコンフォーカル顕微鏡。2つの光学系の融合により、白色コンフォーカル、レーザーコンフォーカル、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定、微分干渉観察の6つの機能が1台に集約され、複数の装置を揃えなければ実現できなかった観察・測定を1台で行うことを可能にしました。

主な特長

  1. 1白色コンフォーカル
    • 1200万画素の高精細フルカラー画像の取得
  2. 2レーザーコンフォーカル
    • 高倍率・高分解能
  3. 3微分干渉観察
  4. 4光干渉形状測定機能
  5. 5分光膜厚測定機能
  6. 6自動検査
    • 測定オプション機能
    • 自動測定ソフト（LIBRA）
    • 自動欠陥検査ソフト（LM Inspect）
2020年

多機能白色レーザーコンフォーカル
顕微鏡
OPTELICS HYBRID+

製品概要

OPTELICS HYBRIDがさらに進化。「真の使いやすさ」を実現した新製品です。

主な特長

  1. 1多機能性

    2つの光学系の融合により、白色コンフォーカル、レーザーコンフォーカル、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定、微分干渉観察の6つの機能を1台で実現

  2. 2業界最高レベルのハードウェア
  3. 3LMカルテ、フィルターアシスト機能など使いやすさをサポートするソフトウェア
  4. 4自動測定ソフト
    • 自動測定ソフト（LIBRA）
    • 自動欠陥検査ソフト（LM Inspect）

    Deep Learningの採用による高精度の欠陥分類機能を追加

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