サ

• 作動距離（さどうきょり）
• 撮像素子（さつぞうそし）
• 三元系正極（さんげんけいせいきょく）
• ３次元計測（さんじげんけいそく）
• 3次元積層デバイス（さんじげんせきそうでばいす）
• 散乱（さんらん）

シ

• 紫外線（しがいせん）
• 収差（しゅうさ）
• 周波数（しゅうはすう）
• 少数キャリア拡散長（しょうすうきゃりあかくさんちょう）
• 焦点（しょうてん）
• 焦点距離（しょうてんきょり）
• 焦点深度（しょうてんしんど）
• ショートパスフィルター（しょーとぱすふぃるたー）
• シリコン（しりこん）
• シリコンウェハ（しりこんうぇは）
• シリコン負極（しりこんふきょく）
• CMP（しーえむぴー）
• CCD（しーしーでぃ）
• CT（しーてぃー）
• CD（しーでぃー）
• CD-SEM（しーでぃーせむ）
• CPL（しーぴーえる）
• CMOSイメージセンサ（しーもすいめーじせんさ）
• Cレート（しーれーと）
• 実装（じっそう）
• 自動欠陥分類（じどうけっかんぶんるい）
• 充電率（じゅうでんりつ）
• 除振台（じょしんだい）
• g線（じーせん）

ス

• 垂直走査型白色干渉測定（すいちょくしきそうさがたはくしょくかんしょうそくてい）
• スキャナー（すきゃなー）
• スタッキングフォルト（すたっきんぐふぉると）
• スティッチングエラー（すてぃっちんぐえらー）
• ステッパー（すてっぱー）
• ストレスライナー膜（すとれすらいなーまく）
• スパッタリング（すぱったりんぐ）
• スペクトル（すぺくとる）
• スポット径（すぽっとけい）
• SMIF（すみふ）

セ

• 成長性異物（ヘイズ）（せいちょうせいいぶつ）
• 静電吸着ホルダー（せいでんきゅうちゃくほるだー）
• 石英（せきえい）
• 赤外光（せきがいこう）
• 赤外線（せきがいせん）
• セル比較検査（せるひかくけんさ）
• 全固体電池（ぜんこたいでんち）
• 全焦点画像（ぜんしょうてんがぞう）

ソ

• 走査（そうさ）
• 走査型プローブ顕微鏡（そうさがたぷろーぶけんびきょう）
• 走査型レーザー顕微鏡（そうさがたれーざーけんびきょう）
• 走査電子顕微鏡（そうさでんしけんびきょう）
• 素子（そし）

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