焦点深度
- 【読み方】
- しょうてんしんど
- 【英語名】
- Depth Of Focus(DOF)
説明
顕微鏡で試料表面を観察した時、鮮明な画像が得られる光軸方向の範囲。共焦点(コンフォーカル)顕微鏡の焦点深度は、開口数0.95の時に約0.3umと浅くなる特徴がある。共焦点(コンフォーカル)顕微鏡は、この焦点深度の浅さを利用して高精度な深さ(または高さ)方向の測定を実現している
説明
顕微鏡で試料表面を観察した時、鮮明な画像が得られる光軸方向の範囲。共焦点(コンフォーカル)顕微鏡の焦点深度は、開口数0.95の時に約0.3umと浅くなる特徴がある。共焦点(コンフォーカル)顕微鏡は、この焦点深度の浅さを利用して高精度な深さ(または高さ)方向の測定を実現している