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2017年
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平成29年度 第２回「横浜知財みらい企業」に認定されました
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新製品：GaNウェハ欠陥検査/レビュー装置「GALOIS（ガロワ）」シリーズを発表
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新製品： 第10.5世代用「FPDフォトマスク欠陥検査装置 CLIOS G10シリーズ」および「CLIOS用ペリクル検査/貼り付けシステム 71PA CM」を発表
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Photronics社より第10.5世代用FPDフォトマスク欠陥検査装置 CLIOS G1001Aなど検査装置を受注[PDF:220.5KB]
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新製品： EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 ABICS「E120」を発表
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新製品： マスクブランクス欠陥検査装置 MAGICSシリーズ「M8650/M8651」を発表
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