CLIOS G10シリーズ は、FPD の生産に使用される第10.5世代大型フォトマスクの高感度かつ高スループットな欠陥検査が可能です。71PA CMは第10.5世代までのさまざまなサイズのペリクルの貼り付け作業を、マスク欠陥検査直後のクリーンな環境下において、リモート操作で実施することが可能です。

近年の FPD 業界では、スマートフォンやタブレット端末に代表される中小型高精細ディスプレイ、4K・8K 高解像度大型テレビ等への対応が急務となっており、フォトマスクのパターンの微細化および基板サイズの大型化が急速に進展しています。また、中国における10.5世代液晶ディスプレイ工場、韓国における有機ELディスプレイ工場への投資が相次いでいる事から、FPD用大型フォトマスク検査の必要性が更に高まっております。

レーザーテックでは、こうした市場のニーズに対応すべく、第10.5世代に対応したFPDフォトマスク欠陥検査装置およびペリクル検査/貼り付けシステムを製品化する事により、高品質フォトマスクの開発および生産に貢献致します。