当社のマスクブランクス欠陥検査装置MAGICSシリーズは、長年にわたり高い評価と信頼をいただき、業界標準機としてマスクブランクス^※1メーカーでの出荷検査およびマスクショップでの受け入れ検査やプロセス管理で活用されております。近年、最先端の微細化プロセスに対応するため、マスク技術においてもEUVや新構造マスクの適用など、さまざまな技術革新が行われております。これに伴い、マスクブランクス検査もさらなる高性能・高機能化が急務となっています。
当社は2014年4月に販売開始し好評頂いているM8350/51に対し、さらなるスループットの向上と高い感度を実現したM8650/51を開発いたしました。
M8650/51はMAGICSシリーズの基幹技術を用い、355nmレーザー光源を採用。M8350/51と比較して、ビーム本数を倍増、検査時間を1/2としました。さらに高密度スキャンを用いることで、M8350/51同等の検査時間で1.5倍の高感度を実現しました。また、本装置はM8350/51からフィールドアップグレードが可能です。すでに多くの引き合いをいただいており、複数台の受注が決定しております。
レーザーテックは、これからも次世代高品質マスクブランクスの出荷品質の向上およびマスクショップでのマスクブランクス受け入れ検査やマスク製造プロセス管理の改善に向けて貢献してまいります。