説明

物体の表面にある微細凹凸や表面うねりを定量的に測定・評価する手法。大別すると「接触式測定」と「非接触式測定」があり、「接触式測定」はダイヤモンドの針先でサンプルをなぞることで凹凸を測定するものであり、従来から広く用いられている。「非接触式測定」は光を使用しており、干渉計、共焦点顕微鏡（レーザー顕微鏡）などの装置がある