説明

走査型顕微鏡において、サンプル面をスポット照射し、その反射光を顕微鏡光学系の結像面に置かれたピンホール（またはスリット）を通して検出するのが共焦点光学系。サンプル面上での焦点は結像面でも焦点を結び、焦点部分だけを選択して検出することから共焦点と呼ばれる。共焦点光学系では焦点がずれた試料面からの光はピンホール（またはスリット）をほとんど通過しないため、サンプル上の焦点が合った部分だけがクリアーに観察でき、焦点深度の浅い画像になる。共焦点顕微鏡では焦点深度の浅さを利用して、サンプルを焦点方向に移動させながら画像を取り込むことにより、サンプル表面の立体構造を評価することができる。レーザーテックの共焦点光学系は、焦点方向分解能が非常に高く、半導体分野における段差計測や、機械加工表面の粗さ計測等に利用されている