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High NA対応アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS A300シリーズ High NAリソグラフィでの転写性欠陥検出にペリクル付きマスクへも対応

ハイエンドマスク検査には MATRICSシリーズ

EUVマスク裏面検査/クリーニング装置 BASICシリーズ EUVマスク裏面の異物検出・高さ測定・クリーニング機能を1台に統合

高感度内部欠陥検査/レビュー装置 CIRIUSシリーズ

次世代プロセスの先端ニーズに対応したウェハ欠陥検査機

高感度ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズ

SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA108

GaN、各種化合物ウェハ欠陥検査/レビュー装置 GALOIS211

レーザーマイクロスコープ OPTELICS HYBRID+ 真の使いやすさの追求

電気化学反応可視化コンフォーカルシステム ECCS B320 Operandoが切り開く解析の未来

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 MAGICS M9650/M9651 EUVマスクブランクスとサブストレートの欠陥検査に

世界初 EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 ABICS E120 EUVマスクブランクス上の転写性位相欠陥の検出および欠陥管理に

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