説明
人間の力なしに機械が自動的にデータから特徴を抽出してくれるディープニューラルネットワーク(DNN)を用いた学習のこと
SiC特有の欠陥に特化した表面検査およびフォトルミネッセンス(PL)同時検査の高速化を実現
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