説明

干渉対物レンズを使用しZ方向にスキャンした際に現れる干渉縞の強度や位相の変化を解析することでサンプル表面の高さデータを取得する測定方法。解析方法の代表的なものとして、垂直走査干渉法と位相シフト干渉法がある