XZ断面計測

【読み方】
えっくすぜっとだんめんけいそく
【英語名】
XZ cross-sectional measurement

説明

透明な膜に対して指定した1ライン上の各ピクセルの膜表面と界面との光学距離を測定することで、膜厚を計測する機能。1µm以上の膜厚に対して有効な計測手法

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