マスクデータプレパレーション

【読み方】
ますくでーたぷれぱれーしょん
【英語名】
Mask Data Preparation(MDP)

説明

フォトマスク上に形成させるパターンのデータ生成などの工程。最先端のフォトマスクでは、複雑なOPCが必要なため、MDPコストは増大している

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