マクロ検査

【読み方】
まくろけんさ
【英語名】
Macro inspection

説明

ウエハに光をあててその反射光情報から欠陥を検出する検査のこと。高倍率光学系を用いて微小欠陥検出を行なうミクロ検査に対して、マクロ検査と呼ばれる

製品を探す