説明

光により化学反応（化学変化）を起こす材料。光が照射された後、現像によって光が照射された部分のみ残ったり、または逆に解けたりする。ウェハ上に薄く塗られ、エッチング、イオン注入のマスキング（保護）に使用される（加工だけではない）