液浸

【読み方】: えきしん

【英語名】: Immersion

説明

対物レンズと試料の間を液体で満たし、空気に比べて光の屈折率を高めることで高い解像力を実現させる光学的手法。ウェハと露光装置の最下レンズとの間を液体で満たすことで、屈折率が1の空気の場合に比べて、液体の屈折率倍にNAを高められるため、解像度を向上できる露光方法（液浸露光）。おもにArF露光装置に適用される

製品を探す

製品関連情報

レーザーテックの製品や技術に関する用語解説を掲載しています。ご活用ください。

展示会出展情報

レーザーテックが出展を予定している展示会情報を掲載しています。