真の使いやすさの追求。
「計測アシスト機能」、「AI検査」をはじめとする新規ソフトウェアを搭載

この度レーザーテックは、レーザーコンフォーカルと白色コンフォーカルの2つの光学系を融合し、高機能と多機能性を追求したハイブリッドレーザーマイクロスコープOPTELICS HYBRIDシリーズの最新モデルとしてOPTELICS® HYBRID+を製品化致しました。同装置は2020年1月に東京ビックサイトで開催されるエレクトロテスト展に出展致します。
同装置は、光源の長寿命LED化を始めとする、分解能0.05nmのZスケールの採用を含む8項目のハードウェア部の改良と、使いやすさを追求した「計測アシスト機能」、検査機能を最大限に活かす「AI検査」等の10項目におよぶ新規のソフトウェアを搭載することで、新しく生まれ変わりました。

現在、各産業分野において高機能化および微細化と同時にエネルギー資源の有効活用の取り組みが世界規模で加速しています。これに伴い、半導体デバイス、金属、樹脂、新素材等、各種材料の技術開発は各分野で一層強化され、顕微観察の分野では、正確かつ迅速なデータ取得と解析が重要な項目となっています。そのため装置のさらなる高性能化、汎用性の向上が求められております。
近年、各業界の研究開発・品質保証部門をメインに使用されていた従来装置も量産プロセスに近い分野に活躍の場を広げつつあり、自動搬送および自動測定・自動検査に対応する需要が増加しています。

OPTELICS® HYBRID+は、このような課題に応えるべく高機能と多機能性を両立させて誕生したOPTELICS HYBRIDシリーズに、長寿命LED光源と高分解能Zスケールを採用。さらに、使いやすさを追求する3つの機能を持つ「計測アシスト機能」を新たに開発いたしました。第一の機能として、従来は測定者の経験やスキルに依存していた測定方法やパラメータの設定において最適な測定手法をアドバイスする「LMカルテ」、第二の機能がノイズ処理等をはじめとする前処理プロセスのパラメータを装置がアシストする「フィルターアシスト機能」、そして第三の機能が測定情報からOK品とNG品を識別するための管理項目をアドバイスする「LMアドバイザー」です。従来、測定者の経験とスキルに依存していた設定を装置が最適化することで、作業効率が大幅に向上します。
また、自動検査ソフトに機械学習やディープラーニングを組み込んだ「AI検査」を新規に開発いたしました。ノンパターンの基板欠陥検査から、パターン付きデバイス等の欠陥検査へ拡張できるだけでなく、取得した欠陥を分類する事が出来、検査フィールドでの活躍の場が飛躍的に拡大します。その他、ウェハ自動搬送をはじめ、測定精度を向上させる新開発の高NA対物レンズ、Xθステージ等のハードウェアオプションと、豊富なソフトウェアオプションにより、多様なニーズをきめ細かく対応することが可能です。