このたび、電子デバイス産業新聞が主催する「第26回　半導体・オブ・ザ・イヤー」の半導体製造装置部門において、「アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置　ACTIS A150」がグランプリを受賞しました。

昨年の「マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置　MAGICSシリーズM9650/M9651」、一昨年の「EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置　ABICS　E120」に続き、同部門初の3年連続のグランプリ受賞となります。

本賞は最新のエレクトロニクス製品の開発において、最も貢献した製品を表彰するものです。2019年4月～2020年3月までに発表された製品・技術（バージョンアップ等を含む）を選考対象とし、「開発の斬新性、量産体制の構築、社会に与えたインパクト、将来性」などを基準に、記者の投票により3部門7製品を選出しています。

ACTIS A150は、EUV露光装置と同じ波長（EUV光　波長13.5nm）を適用した世界初のマスク検査装置です。今回のグランプリ受賞では「高感度な検査およびEUVパターンマスクに特有の転写性位相欠陥の検出を可能にした」ことや、「次世代半導体製造プロセス（EUV）を構築するために必要な装置」などの点が評価されました。

レーザーテックはこれからも半導体業界の微細化に伴うニーズを捉え、タイムリーにソリューションを提供し、最先端の光応用技術を用いて製品開発に一層力を入れてまいります。