このたび、電子デバイス産業新聞が主催する「第25回　半導体・オブ・ザ・イヤー」半導体製造装置部門において、当社の「マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置　MAGICSシリーズ　M9650/M9651」が昨年の「EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置　ABICS　E120」に引き続きグランプリを受賞しました。

　本賞は最新のエレクトロニクス製品の開発において、最も貢献した製品を表彰するもので、2018年4月～2019年3月までに発表された製品・技術（バージョンアップ等を含む）を選考対象とし、「開発の斬新性、量産体制の構築、社会に与えたインパクト、将来性」などを基準に3部門7製品が、記者の投票により選出されています。

　M9650/M9651は、既存の光リソグラフィ向けマスクブランクスのみならず、次世代リソグラフィ技術で使用されるEUVマスクブランクスの母材となるガラス基板や、吸収層の極小欠陥を検出する、高品質マスクブランクス製造に欠かせない検査装置です。今回のグランプリ受賞では「5nm以降という最先端分野向けへの装置開発」や、「次世代半導体製造プロセス（EUV）を構築するために必要な装置」などの点が評価されました。

　これからも当社は半導体業界の微細化に伴うニーズを捉え、タイムリーにソリューションを提供し、最先端の光応用技術を用いて製品開発に一層力を入れてまいります。