当社のマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置MAGICSシリーズは、長年にわたり高い評価と信頼をいただき、業界標準機としてマスクブランクスメーカーでの出荷検査およびマスクショップでの受け入れ検査やプロセス管理で活用されております。近年、最先端の微細化プロセスに対応するため、マスク技術においてもEUVや新構造マスクの適用などの様々な技術革新が行われております。これに対応するため、マスクブランクス検査のさらなる高性能・高機能化が急務となっております。

こうした次世代のニーズに対応すべく、この度当社はEUV用マスクブランクスをはじめ、光マスク用ブランクス、サブストレートの欠陥検査に対して高い検出感度を実現した最新鋭機M9650/51を開発しました。
M9650/51はMAGICSの基幹技術をベースに、検査光学系の刷新とともに、当社マスクパターン検査装置で培った高速検査回路技術を採用し、微小欠陥の欠陥検出感度を大幅に向上させています。

本装置はすでに多くの引き合いをいただいており、複数台の納入が決定しております。レーザーテックは、これからも次世代高品質マスクブランクスの出荷品質の向上およびマスクショップでのマスクブランクス受け入れ検査やマスク製造プロセス管理の改善に向けて貢献してまいります。