当社 技術五部部長　宮井博基および技術五部シニアエンジニア　渡辺秀弘（前職EIDEC先端マスク研究部長）が、アクテニック（13.5nm波長を用いた）EUVマスクブランクス検査システムの構想、開発、商品化を通じて、マスク製作技術に多大なる影響を与え、マスク業界に貢献したことから、SPIE(国際光工学会）より「BACUS賞」を受賞しました。