当社のマスクブランクス欠陥検査装置MAGICSシリーズは、長年にわたり高い評価と信頼をいただき、業界標準機としてマスクブランクスメーカーでの全数検査およびマスクショップでの受け入れ検査やプロセス管理で活用されております。一方、EUVリソグラフィー実用化の遅延により、光リソグラフィーの延命によるフォトマスクの微細化が進み、マスクブランクスにおいてもさらなる高感度検査による品質の管理、向上が急務となっております。

こうした次世代のニーズに対応すべく、この度当社は、フォトマスク用高品質マスクブランクスのQzサブストレートの欠陥検査をはじめ、各種成膜工程やレジスト膜の欠陥検査に対して高い検出感度を実現した最新鋭機M8350/51を開発しました。

M8350/51はMAGICSシリーズの基幹技術を用い、新規開発の355nmレーザー光源、検査光学系および欠陥検出回路により、微小欠陥の欠陥検出感度を大幅に向上させています。

本装置はすでに多くの引き合いをいただいており、今年中に複数台の納入を予定しています。レーザーテックは、これからも次世代高品質マスクブランクスの出荷品質の向上およびマスクショップでのマスクブランクス受け入れ検査やマスク製造のプロセス管理の改善に向けて貢献してまいります。