レーザーテックは、第8世代用大型フォトマスクパターン欠陥検査装置の業界標準機として既に定評のある51MDを大幅に進化させた高精細液晶用大型フォトマスクパターン欠陥検査装置CLIOS G821を製品化し、今月より受注を開始いたします。
スマートフォンに代表される高精細ディスプレイや新映像フォーマットの4K2K高解像度テレビへの対応で、液晶用フォトマスクのパターンは微細化が急速に進展し、ハーフトーンマスクやグレートーンマスクの普及と併せて高度化が一層加速しています。
生産現場においてもこのような高度化したフォトマスクの欠陥検査を可能とする、より高い検出感度を持った検査装置の登場が強く求められております。
レーザーテックでは、こうした新たな検査ニーズに対応すべく新開発の光学系、ステージ機構および検出回路で、高感度欠陥検査と高スループットを実現した新製品CLIOS G821を製品化いたしました。