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第4回レーザー学会産業賞「奨励賞」受賞のお知らせ

2012年04月26日

このたび当社主力製品である「フォトマスク欠陥検査装置 MATRICS X700シリーズ」が、レーザー・光関連産業の発展に大きく貢献したことが評価され、一般社団法人レーザー学会より、レーザー学会産業賞「奨励賞」を受賞いたしました。
本装置は、当社が世界で初めて開発した全固体QCW213nmレーザー光源を搭載しており、日本・韓国・台湾・ドイツ・USA・中国など全世界の最先端半導体製造工場に導入され、半導体フォトマスクの品質維持/管理のための異物検査プロセスで活躍しています。


4月25日表彰式

表彰状
レーザー学会産業賞とは
レーザー学会賛助会員が開発・実用化した製品・新技術について、レーザー・光関連産業を通じて社会の発展に貢献する優れたものに対してレーザー学会が「産業賞」を授与し、その功績を称えるものです。
開発技術、販売実績、技術もしくは製品としての新規性、知的財産の取得状況、関連技術もしくは学術・産業・社会への波及効果など客観的データを基に審査されます。