製品
51MD用ペリクル検査・貼り付けシステム 「51PA」を発表
2006年09月25日
レーザーテックは、液晶用フォトマスクに対応する新製品 “ペリクル*1検査・貼り付けシステム51PA” を製品化し、10月1日から受注を開始します。
*1 ペリクル：フォトマスクに貼り付ける防塵用の保護膜
説明
液晶TFT用フォトマスクはデバイスの回路パターン原版という性格上、常に高い品質が要求されています。フォトマスクの品質に対する要求は益々高まっており特に異物低減は各マスクメーカーの必須課題です。本機はマスクパターン検査装置51MDとインラインで連結し、ペリクルの検査、仮貼りから貼り付けまでを一貫して行なう装置です。マスクを51MDで検査した後に既存のペリクル貼り付け装置へ運ぶ従来のプロセスに比べ、異物が付着するリスクを大幅に低減する事が可能です。
新製品の特長
- ペリクルの検査、仮貼りから最終貼り付けを1台で実現
- 51MDと連結することによりマスク、ペリクルへの異物の付着を大幅に低減
- イオナイザ設置により、異物付着を防ぐことでクリーンな環境を保ち、ペリクルの貼り直しによる生産性の低下を防ぎます
- ペリクルをクランプする冶具は、サイズ別にストッカー内に収納されており、さまざまなサイズのペリクルに対応可能です
- 輸送ケース内のペリクルを取出す際、クランプ部で引張り力を検知することにより、無理な力を与えずに自動で離型紙を剥がすことが可能です
- ペリクルを貼付ける際、4ヶ所のCCDカメラでマスク端とペリクル端の間隔を測定しアライメント操作可能です
- ペリクル異物自動検査、レビュー機能、Air Blowして異物を除去する機能および表裏反転機能などを搭載し、高い操作性を実現します
- 検出した異物を明視野または暗視野で観察でき、また異物の画像データも保存可能なため、良否判定だけでなく品質管理や不良解析にも有効です
- マスクにペリクルを仮貼り後、近設のプレス装置に搬送します。プレス装置には大気圧力を利用してプレスする吸着パッドが等間隔に設置されており、一定の力と時間でプレスして均一に本貼りすることができます
用途
- 大型フォトマスク製造工程における、ペリクルの自動搬送および貼付け
- 反射散乱光によるペリクル上の異物検査(ペリクルの品質確認検査)
構成
本体、コントロールラック、パソコンデスク